解:(1)根據質量守恒定律和化學方程式可得,R的化學式中應含有Si的個數為:(1-1)÷2=0,應含有O的個數為:2÷2=1,應含有C的個數為:2÷2=1.故可判斷R的化學式為:CO;化學方程式為:SiO
2+2C

Si+2CO,是一種單質與一種化合物反應生成另一種單質和另一種化合物的反應,屬于置換反應;
(2)在H
2還原SiHCl
3過程中若混入O
2,還原出的Si會被再次氧化,得不到純凈的Si,氫氣與氧氣會發生反應并放出大量熱量,會引起爆炸.故整個制備過程必須達到無水無氧;
(3)因為H
2還原SiHCl
3得到高純硅和HCl,故可判斷物質A為HCl,在生產過程中,從粗硅→SiHCl
3,要用到HCl,使物質A得到循環利用.
故答案為:(1)CO;置換反應;
(2)硅被氧化得不到高純硅,還會引起爆炸;
(3)HCl.
分析:(1)根據質量守恒定律的微觀解釋:化學反應前后原子的種類和數目不變.可知在化學反應方程式中,反應物和生成物中所含的原子的種類和數目相同.由此可推斷化學反應方程式中反應物或生成物的化學式;根據反應各類型的特點判斷;
(2)根據氫氣與氧氣反應的情況和Si與氧氣反應的情況考慮;
(3)對照流程圖和物質A,進行分析即可.
點評:此題主要是考查學生的綜合分析能力,不但要求學生具備有關物質的基礎知識,而且要有實驗操作的經歷和分析、解決化學實驗問題的能力.